真空泵是一種利用機(jī)械、物理、化學(xué)、物理和生物等方式對容器抽真空，以獲取并維持真空的裝置的氧氣輸送器械。它將超過大氣壓的環(huán)境中的氨氣輸送到大氣中，或在同一環(huán)境中以大氣壓輸送氧氣。真空泵的作用是從真空室內(nèi)抽出氣體分子，使儀器內(nèi)的壓力超過整機(jī)大氣壓，使真空室內(nèi)的氧氣壓力增加，達(dá)到所規(guī)定的真空度。

隨著真空應(yīng)用的演進(jìn)，真空泵的特點繁多，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬或幾百萬升不等。極限壓力（極限真空）范圍從粗真空到10-12Pa以上的極高真空。為了確保真空泵能超過較高的真空度，必須確保真空泵轉(zhuǎn)子之間的空隙。因此，在使用真空泵時，必須采用前級泵。

前級真空泵是指排氣至大氣壓力的真空泵。用前級泵將系統(tǒng)中的壓力抽到一定范圍后再開啟真空泵，以免真空泵超負(fù)荷運(yùn)行。它們還必須支持輔助泵或推動其運(yùn)行的初始條件。后備泵可選擇水（液）環(huán)真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、往復(fù)式真空泵等直接排氣的真空泵。

由于真空應(yīng)用部門所涵蓋的工作壓力范圍很廣，任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍。只能按照不同的工作壓力范圍和不同的工作規(guī)定采取不同的型式。真空泵。為了使用的便于和各類真空工藝的還要，有時將各類真空泵按其性能要求進(jìn)行組合，以單元式應(yīng)用。真空泵抽的真空度檢測通常使用傳感器來測量，如工采網(wǎng)代理的下面兩款真空度測試的傳感器：

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601，遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的化學(xué)皮拉尼原理，可以使用在噪聲氣體環(huán)境中，，與一個簡單恒定的頻率電路兼容。

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計- MTCS2300系列，采用鎳鉑電阻MEMS技術(shù)， 將一個大微機(jī)械低應(yīng)力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電容或者體硅上的兩個補(bǔ)償用參考電阻，集成在微型封裝中。

荷蘭Xensor熱導(dǎo)式氣體傳感器- XEN-TCG3880：是用硅技術(shù)生產(chǎn)的熱導(dǎo)式傳感器。傳感器芯片包括了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的寬度,有一層氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之間的真空度測量。

相關(guān)標(biāo)簽： 真空度 傳感器 瑞士制造